1 简介

真空(kong)泵是一(yi)种(zhong)旋转式变(bian)容真空(kong)泵须(xu)有前级泵配合方可(ke)使用在较宽的压力(li)范围内有较大的抽速对(dui)被(bei)抽除气(qi)体中含有灰尘和(he)水蒸汽不敏感广(guang)泛用于冶金、化(hua)工、食品、电(dian)子镀(du)膜等行(xing)业。[1]

2 特点

(1)在较(jiao)宽的压(ya)力范围内有较(jiao)大(da)的抽(chou)速(su)；

(2)转(zhuan)子具有(you)良(liang)好的几(ji)何(he)对称性，故振动小，运转(zhuan)平稳。转(zhuan)子间及(ji)转(zhuan)子和壳体(ti)间均有(you)间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱(qu)动功率，从(cong)而可实现较高(gao)转(zhuan)速(su)；

(3)泵腔(qiang)内无需用油(you)密封和(he)润(run)滑，可减(jian)少油(you)蒸气对真空系统的(de)污(wu)染(ran)；

(4)泵(beng)腔内(nei)无压缩(suo)，无排(pai)气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘(chen)和(he)水蒸汽不敏感(gan)；

(5)压(ya)缩比较(jiao)低，对(dui)氢气(qi)抽(chou)气(qi)效果差；

(6)转子表面为(wei)形状较为(wei)复杂的曲(qu)线柱面，加(jia)工和检(jian)查比较困(kun)难。

3 结构

（1） 泵总体结构型式

真(zhen)空泵(beng)的(de)(de)泵(beng)体的(de)(de)布(bu)置(zhi)结(jie)构决定了泵(beng)的(de)(de)总体结(jie)构。

立(li)式(shi)结构的(de)进、排气口水平(ping)设置(zhi)，装配和连接(jie)管路都比较方(fang)便。但泵(beng)的(de)重(zhong)心(xin)较高，在(zai)高速运转时稳定性差，故这种型(xing)式(shi)多用(yong)于小(xiao)泵(beng)。

卧式泵(beng)的(de)进气(qi)口(kou)(kou)在上(shang)，排(pai)气(qi)口(kou)(kou)在下。有(you)时为了真空(kong)系统(tong)管道安装连接(jie)方(fang)便，可(ke)将排(pai)气(qi)口(kou)(kou)从水平方(fang)向接(jie)出，即进、排(pai)气(qi)方(fang)向是(shi)相(xiang)互垂直的(de)。此(ci)时，排(pai)气(qi)口(kou)(kou)可(ke)以从左或右两个方(fang)向开口(kou)(kou)，除接(jie)排(pai)气(qi)管道一(yi)端外，另一(yi)端堵(du)死(si)或接(jie)旁通阀。这种泵(beng)结构(gou)重心低，高速(su)运转(zhuan)时稳定性好。一(yi)般大、中型泵(beng)多采用此(ci)种结构(gou)。

泵(beng)的两个(ge)转(zhuan)(zhuan)子轴与水平面垂(chui)直安装(zhuang)(zhuang)。这种(zhong)结构(gou)装(zhuang)(zhuang)配间隙容易控(kong)制(zhi)，转(zhuan)(zhuan)子装(zhuang)(zhuang)配方便(bian)(bian)，泵(beng)占(zhan)地面积小。但泵(beng)重(zhong)心较高(gao)且齿轮拆装(zhuang)(zhuang)不便(bian)(bian)，润滑机构(gou)也相对(dui)复(fu)杂。

（2） 泵的传(chuan)动(dong)方式

真空泵(beng)的(de)(de)两个转(zhuan)子(zi)(zi)是通(tong)过一对(dui)高精度齿轮(lun)来实现其相(xiang)对(dui)同(tong)步运(yun)转(zhuan)的(de)(de)。主动(dong)(dong)(dong)(dong)轴(zhou)通(tong)过联(lian)轴(zhou)器(qi)与(yu)电(dian)机联(lian)接。在传动(dong)(dong)(dong)(dong)结构布置上(shang)主要(yao)有以下两种：其一是电(dian)动(dong)(dong)(dong)(dong)机与(yu)齿轮(lun)放(fang)在转(zhuan)子(zi)(zi)的(de)(de)同(tong)一侧如图(tu)。从动(dong)(dong)(dong)(dong)转(zhuan)子(zi)(zi)由电(dian)动(dong)(dong)(dong)(dong)机端齿轮(lun)直(zhi)接传过去带动(dong)(dong)(dong)(dong)，这样主动(dong)(dong)(dong)(dong)转(zhuan)子(zi)(zi)轴(zhou)的(de)(de)扭(niu)转(zhuan)变形小，则两个转(zhuan)子(zi)(zi)之间(jian)(jian)(jian)的(de)(de)间(jian)(jian)(jian)隙(xi)不会(hui)因(yin)主动(dong)(dong)(dong)(dong)轴(zhou)的(de)(de)扭(niu)转(zhuan)变形大而(er)改(gai)变，故使转(zhuan)子(zi)(zi)之间(jian)(jian)(jian)的(de)(de)间(jian)(jian)(jian)隙(xi)在运(yun)转(zhuan)过程中均匀(yun)。这种传动(dong)(dong)(dong)(dong)方式的(de)(de)最大缺点是：a.主动(dong)(dong)(dong)(dong)轴(zhou)上(shang)有三个轴(zhou)承，增加了泵(beng)的(de)(de)加工和装(zhuang)配难度，齿轮(lun)的(de)(de)拆装(zhuang)及(ji)调整也不便；b.整体结构不匀(yun)称，泵(beng)的(de)(de)重心偏(pian)向(xiang)电(dian)动(dong)(dong)(dong)(dong)机和齿轮(lun)箱一侧。

    极(ji)限(xian)(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)”是真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)的一(yi)个(ge)(ge)重要参(can)数(shu)，是反应泵(beng)(beng)(beng)(beng)抽(chou)气(qi)能力(li)的特性(xing)值，是与(yu)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)相(xiang)关的一(yi)个(ge)(ge)数(shu)值，不同的真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)可以(yi)有不同的“极(ji)限(xian)(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)”度(du)。而“理(li)(li)论(lun)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)”是理(li)(li)论(lun)研究时(shi)(shi)的一(yi)个(ge)(ge)概念(nian)，是排除各种实际(ji)因素(su)的影响(xiang)而提炼出的一(yi)种最理(li)(li)想的真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)状态。真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)容器(qi)(qi)经(jing)充分(fen)抽(chou)气(qi)后，稳定在某一(yi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)，此真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)称为(wei)极(ji)限(xian)(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)。通常真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)容器(qi)(qi)须(xu)经(jing)12小(xiao)时(shi)(shi)炼气(qi)，再经(jing)12小(xiao)时(shi)(shi)抽(chou)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)，最后一(yi)个(ge)(ge)小(xiao)时(shi)(shi)每隔10分(fen)钟测量(liang)一(yi)次(ci)，取(qu)其10次(ci)的平均值为(wei)极(ji)限(xian)(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)值。